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专利名称：智能热盘温度控制器及其温度控制方法专利类型：发明专利发明人：赵乃霞
申请号：CN200710012652.7申请日：20070831公开号：CN101377686A公开日：20090304
摘要：本发明涉及一种智能热盘温度控制器及其控制方法，温度控制器具有主控制电路，其输入端通过温度检测电路接有热盘温度传感器，输出端通过温度控制电路接至热盘加热装置，主控制电路还接有人机接口电路，所述主控制电路以单片机为控制核心，其内部存有热盘温度控制程序；本发明方法包括以下步骤：上电后系统初始化配置及参数；读取存储器内容；根据需要修改目标温度及各种参数；主控制电路通过温度检测电路获取热盘的当前实际温度；当前实际温度与目标温度时行比较，得到温度误差；温度误差进行PID调节，使实际温度保持在目标温度。本发明温度控制精确、恒定、响应迅速，重复开机时温度的重复性一致，能够准确跟踪工艺过程，提高成品率，调试方便省时。
申请人：沈阳芯源微电子设备有限公司
地址：110168 辽宁省沈阳市浑南新区飞云路16号
国籍：CN
代理机构：沈阳科苑专利商标代理有限公司
代理人：许宗富
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