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专利名称：一种声表面波的谐振器及其制作方法专利类型：发明专利发明人：汪繁荣
申请号：CN201810779027.3申请日：20180716公开号：CN1088814A公开日：20181211
摘要：本发明公开了一种声表面波的谐振器，包括基板，所述基板的上端设置有叉指换能器和反射器，所述反射器位于叉指换能器的两侧，所述基板包括固定板和安装板，所述安装板位于固定板的上端，且叉指换能器和反射器位于安装板的上端，本方明制备方法简单，通过激光刻蚀机对薄膜层进行刻蚀处理，此时模具能够将模具下方的薄膜层保护住，激光刻蚀机能够将模具外侧的薄膜层烧穿，得到叉指换能器和反射器，操作过程方便简单。
申请人：湖北工业大学
地址：430068 湖北省武汉市洪山区南李路28号
国籍：CN
代理机构：武汉帅丞知识产权代理有限公司
代理人：刘丹
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