一种级联的法布里-玻罗光学共振腔及其制备方法

（12）发明专利申请

（21）申请号 CN200810020210.1 （22）申请日 2008.02.27 （71）申请人 南京大学

地址 210093 江苏省南京市汉口路22号

（10）申请公布号 CN101231441A

（43）申请公布日 2008.07.30

（72）发明人 彭茹雯;李德;曹鲁帅;吴昕;高峰;林涛;王牧 （74）专利代理机构 南京苏高专利商标事务所

代理人 阙如生

（51）Int.CI

G02F1/21; C23C14/35; C23C14/14; C23C14/54;

权利要求说明书 说明书 幅图

（54）发明名称

一种级联的法布里－玻罗光学共振腔及其制备方法

（57）摘要

本发明公开了一种级联的法布里－玻罗光

学共振腔及其制备方法，该材料是在K9玻璃或石英玻璃片衬底上用磁控溅射技术，在高纯氩气氛中逐次生长出包含五个不同区域的由银膜和二氧化硅膜构成的级联法布里－玻罗光学共振腔；用

该技术制备时膜厚控制精确，而且材料中间不存在液体层，该材料厚度超薄(总厚度小于380纳米)且结构稳定，而且容易控制，并具有在波长为400纳米至850纳米的范围内获得五个共振模式，并且这五个共振模式的频率互不关联，每个模式可的功能。

法律状态

法律状态公告日

2008-07-30 2008-09-24 2012-02-01

法律状态信息

公开

实质审查的生效

发明专利申请公布后的视为撤回

法律状态

公开

实质审查的生效

发明专利申请公布后的视为撤回

权利要求说明书

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说明书

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