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专利名称：一种基于洛伦兹力的双向串联MEMS执行器专利类型：发明专利
发明人：杨晋玲,吕兴东,魏伟伟,张金英,杨富华申请号：CN201510388715.3申请日：20150706公开号：CN105129719A公开日：20151209
摘要：本发明描述了一种基于洛伦兹力执行的双向串联MEMS执行器，其由两个可动的弹性结构串联而成，可以在电流和磁场的作用下，利用洛伦兹力实现结构的双向运动。执行器只需很小的驱动电流，就能实现很大的位移。通过控制电流的方向，两个结构既可以实现相向运动，相互合并；也可以实现反向运动，相互分离。
申请人：中国科学院半导体研究所
地址：100083 北京市海淀区清华东路甲35号
国籍：CN
代理机构：中科专利商标代理有限责任公司
代理人：任岩
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