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专利名称:基于图像处理的干涉法测厚仪专利类型:实用新型专利发明人:赵多
申请号:CN201220072925.3申请日:20120301公开号:CN202471014U公开日:20121003
摘要:本实用新型涉及一种厚度测量设备,具体地说是一种结构合理、使用方便、测量准确的基于图像处理的干涉法测厚仪,由迈克尔干涉仪、减速步进电机、摄像头、计算机组成,其特征在于减速步进电机与迈克尔干涉仪的微调旋钮相连接,计算机与用于采集迈克尔干涉仪干涉屏上图像信息的摄像头相连接,与现有技术相比,具有结构合理、使用方便、测量准确等显著的优点。
申请人:赵多
地址:2209 山东省威海市文化西路180号
国籍:CN
代理机构:威海科星专利事务所
代理人:于涛
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