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专利名称：应用于单晶炉的主炉室结构专利类型：实用新型专利
发明人：曹建伟,傅林坚,韦韬,胡建荣,倪军夫,陈杭,陈新旺申请号：CN201821676521.9申请日：20181016公开号：CN209368384U公开日：20190910
摘要：本实用新型关于单晶炉辅助设备领域，特别涉及一种应用于单晶炉的主炉室结构。包括主炉室、上法兰、下法兰与隔水组件；主炉室为由内筒体与外筒体组成的双层筒体结构，内筒体侧壁上开有孔，在外筒体侧壁上的相应位置也开有孔并在此处焊接有测温口法兰；上法兰与下法兰分别焊接于主炉室的顶端与底端，内部设有水槽，侧部均开有Rc螺纹孔，Rc螺纹孔与水槽均相互连通；隔水组件焊设于内筒体与外筒体间，包括第一隔水条、导水槽与出水嘴；第一隔水条组成环形水道，导水槽与主炉室轴线平行设置，出水嘴设于导水槽末端。本实用新型提高了主炉室的密封性能；并提高了冷却效率，从而降低单晶炉的硅棒单次生产时间，降低辅助材料的替换频率。
申请人：浙江晶鸿精密机械制造有限公司
地址：312300 浙江省绍兴市上虞区经济开发区通江西路218号
国籍：CN
代理机构：杭州中成专利事务所有限公司
代理人：周世骏
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